[경기도, 중소기업 R&D지원 통한 건강한 일자리 창출·2]대일시스템 '반도체 및 FPD 자동차 검사장비용 고속 정착 능동제진장치'

이송장치 외란제거 추가
2억여원 들여 장비 개발
정밀장치 분야 시장개척
신규직원 채용·매출신장

용인시에 위치한 대일시스템은 세계 최고의 미세진동 제어 시스템 제조기업을 꿈꾸는 유망 중소기업이다. 1984년 설립된 산업기계 및 자동화 설비 제작업체 '대일기공'에서 1996년 (주)대일시스템 법인으로 전환했다.

국내 최초로 미세진동 제어 시스템을 도입했으며, 30년 이상의 경험과 기술을 바탕으로, 37명의 직원들이 57억원의 연매출을 올리고 있다.



제진장치는 고정밀 공정장비·측정장비에 사용되는 장치로, 고정밀 장비의 하부에 설치해 바닥 진동을 차단하는 데 사용된다.

정밀도가 높은 Sub-micro급 장비는 미세한 진동에도 영향을 받아 가공 및 측정 품질이 악화될 수 있어, 제진장치를 사용해 진동 영향을 최소화 하는 것이다. 제진장치는 진동억제 능력을 높이기 위해 Soft mount 특성을 갖는데, 이로 인해 장비 내부의 이송장치가 구동되면 베이스 롤링이 발생할 수 있다.

진동억제 능력이 우수한 제진장치일수록 롤링은 더 심하게 발생하고, 이로 인하여 고정밀 가공·측정을 시작하기까지 대기시간이 길어진다.

따라서 제진장치 채택에 있어 우수한 진동억제 능력-장비 생산성 간 상충 관계가 발생하게 되는데, 이러한 문제를 해결해 보다 우수한 진동억제 능력과 높은 장비 생산성을 모두 충족할 수 있는 새로운 제진장치를 개발하기 위해 대일시스템은 경기도 기술개발 사업에 참여했다.

'반도체 및 FPD(flat panel display·평면판 표시 장치 ) 자동차 검사장비용 고속 정착 능동제진장치'를 과제로 지난해 9월부터 올해 8월까지 기술개발을 진행으며 사업비는 도가 지원한 1억1천10만원을 포함 2억여원이 투입됐다.

그 결과 새로 개발한 장비(사진)에는 기존의 제진장치에 이송장치 외란을 제거하기 위한 요소가 추가됐다.

스테이지 구동 정보(위치, 속도, 가속도) 전달, 스테이지 구동 외란 예측 알고리즘, 상쇄력 계산 알고리즘 수행, 서보밸브 및 VCM(Voice Coil Motor)을 이용한 상쇄력 인가 등의 기능을 통해 진동전달률 35dB, 정착시간 0.2초(기존 제진장치의 1/10)로 진동 억제 능력 및 탑재 장비 생산성이 모두 우수한 제진장치를 개발할 수 있었다.

이 제품은 반도체/FPD 노광 장치, 반도체/FPD 검사 장비, In-line 3D 측정 장비, 기타 고속 스테이지 탑재 장비 등에 활용할 수 있다.

대일시스템은 이 사업을 통해 Stage FeedForward 기술 개발로 정착시간 0.2초 달성, 고출력 Voice Coil Motor 개발 및 최적설계 프로그램 개발, 제진장치 시뮬레이션 프로그램 개발이라는 기술적 성과를 얻었다.

경제적으로는 고정밀&고속장비 분야 시장 개척을 통한 매출 신장과 외산 제진장치를 국내 제품으로 대체하고 능동제진장치 관련 지식재산권 확보할 수 있었다.

대일시스템 관계자는 "뿐만 아니라 신규직원 1명을 채용했고 지난해 매출 57억6천200만원에서 올해 62억으로 7.6%신장 될 것으로 기대하고 있다"며 "내,후년 상품화를 본격적으로 진행할 계획"이라고 전했다.

/민정주기자 [e-mail] 사진/경기도경제과학진흥원 제공